TERPS硅谐振压力传感器 德鲁克Druck推出的TERPS（Trench Etched Resonant Pressure Sensor）技术基于单晶硅谐振原理，通过MEMS工艺将谐振式压力传感器的小型化、批量化与高精度结合起来，为行业提供一种新思路：同一个传感器核心结构，即可覆盖真空到大气压的超宽量程，并在精度与长期稳定性上取得显著突破。 TERPS技术具备极佳的性能：精度可…